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tehnika de-en
de
Belichtung des ganzen Wafers
en full-wafer exposure, whole wafer exposure, whole-wafer exposure
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tehnika de-en
de
Belichtung des gesamten Wafers in weniger als einer Minute
en sub-minute exposure of the entire wafer
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tehnika de-en
de
Belichtung des größten verfügbaren Feldes/optimierte
en optimised printing of the largest available field
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tehnika de-en
de
Belichtung des Resistbildes am Rand
en periphery exposure of the resist image