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Folienzwischenträgerstruktur für direkte Waferbelichtung
en direct step and-repeat system
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Folienzwischenträgerstruktur mit 10-facher Verkleinerung
en 10:1 step and repeat camera, 10x optical step and repeat camera, tenfold optical step and-repeat camera
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de
Folienzwischenträgerstruktur mit Projektionsverkleinerung
en step-and repeat microreduction printer
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Folienzwischenträgerstruktur mit sechs Mikroprojektionssystemn
en six-barrel step-and-repeat microreduction printer
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fotolithografische Repeateranlage
en step and repeat optical lithography system, step-and-repeat optical lithography system
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fotolithografische Technik der direkten Strukturübertragung auf den Wafer
en photo- lithographic direct-step-on-the-wafer technique, photolithographic direct-step-on-the-wafer technique
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