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tehnika de-en
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Waferbelichtung mit Elektronenstrahlen/direkte
en direct wafer exposure with electron beams
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Waferbelichtung unter Produktionsbedingung/direkte
en direct wafer exposure under production condition, production direct wafer exposure
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Waferstepper
en direct step-on-wafer machine, direct wafer stepping equipment, projection-reduction wafer stepper, projects and exposes an individual chip-size image on the wafer, wafer stepper
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Waferstepper mit optischer 10:1-Projektionsübertragung
en DSW 10:1 optical projection aligner, direct-step-on-wafer system using 10:01 optical projection
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Wafersteppertechnik mit optischer Projektion
en optical projection direct step on wafer technology
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