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Direktbelichtung der Wafer durch Elektronenstrahlen
en electron beam direct processing on wafers, electron-beam direct processing on wafers
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Direktbelichtung der Wafer im lithografischen Verfahren
en direct lithography on wafers
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Direktbelichtung der Wafer im Step- und Repeat-Verfahren
en photolithographic direct stepping or wafers, step-and-repeat exposure directly on the wafers
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