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Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
en direct writing of the device pattern with the scanning electron beam
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Direktschreiben der Struktur auf Wafer mit Elektronenstrahl
en direct 1 x E-beam writing on the wafer, electron-beam direct-write-on the-wafer
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Direktschreiben mit Elektronenstrahl
en E-beam direct write on wafer, direct wafer writing with an electron beam, direct writing with an electron beam, e-beam direct-write-on-wafer, electron beam direct writing
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Direktschreiben ohne Proximity-Effekte
en direct writing free of proximity effects
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