Več ... tehnika de-en de

Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente

en diffraction of light at the edges of features in the patterns

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Več ... tehnika de-en de

gegenüber dem Stand der Technik

en in the light of the prior art

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Več ... tehnika de-en de

in Anbetracht dieser Erwägungen

en in the light of these considerations

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