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tehnika de-en
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Waferbelichtung nach dem Mehrfachchipprojektionsverfahren
en multiple projection printing on the wafer
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Waferbelichtungsanlage
en proximity and projection aligners, wafer exposure equipment, wafer printing machine
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Waferstepper
en direct step-on-wafer machine, direct wafer stepping equipment, projection-reduction wafer stepper, projects and exposes an individual chip-size image on the wafer, wafer stepper
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Waferstepper mit optischer 10:01 Projektionsübertragung
en 10:1 projection stepping aligner
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Waferstepper mit optischer 10:1-Projektionsübertragung
en DSW 10:1 optical projection aligner, direct-step-on-wafer system using 10:01 optical projection
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