Iskani niz je bil najden v PREVODIH:
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tehnika de-en
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die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge bestimmen
en determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength
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die gesamte Chipstruktur bei stationärem Tisch erzeugen
en construct the entire chip pattern with the stage stationary
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die Koordinatentischposition verfolgen
en keep track of the X-Y stage position
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die Retikelmarke zur Tischmarke justieren
en align the reticle mark to the stage mark
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die Scheibe auf den Wafertisch ablegen
en deposit the slice on the wafer stage
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die Scheibe vom Wafertisch wieder abnehmen
en retrieve the slice from the wafer stage
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die Tischposition laserinterferometrisch kontrollieren
en monitor stage position by the laser interferometer
Dostopnost