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Elektronenstrahlbearbeitung
en E-beam processing, electron beam processing, electron-beam processing
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Elektronenstrahlbearbeitungsanlage für Mikroschaltkreise
en electron-beam microfabricator
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elektronenstrahlbelichtete Struktur
en electron beam written pattern, electron beam-written pattern
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Elektronenstrahlbelichtungsanlage
en electron beam exposure system, electron-beam exposure system
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Elektronenstrahlbelichtungsanlage für direkte Waferstrukturierung
en electron-beam direct write machine
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