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elektronenstrahlbelichtete Struktur
en electron beam written pattern, electron beam-written pattern
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Elektronenstrahlbelichtungsanlage
en electron beam exposure system, electron-beam exposure system
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Elektronenstrahlbelichtungsanlage für direkte Waferstrukturierung
en electron-beam direct write machine
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Elektronenstrahlbelichtungsanlage für Produktionszwecke
en manufacturing electron-beam exposure system
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