Iskani niz je bil najden v PREVODIH:
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tehnika de-en
de
den unabgelenkten Strahl bis auf 0,3 mm genau positionieren
en keep the beam within 0.3 mm of its undeflected position
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tehnika de-en
de
die Abmessungen des Flächenstrahls computergesteuert verändern
en vary under computer control the dimensions of the shaped beam
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die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen
en determine the position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter
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tehnika de-en
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die Strahlaustastplatten ansteuern
en send signals to the beam blanking plates