Iskani niz je bil najden v IZTOČNICAH:
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das Bild der Schablone im Verhältnis 01:01 auf den Wafer projizieren
en project the image of the mask at one to one magnification on to the wafer
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das kleine Bildfeld im Step- und Repeat-Verfahren auf den Wafer übertragen
en step the small image field over the wafer
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das kleine Bildfeld im Step- und-Repeat-Verfahren auf den Wafer übertragen
en step the small image field over the wafer
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das Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren
en irradiate the mask onto the resist-coated wafer
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das Resist gleichmäßig auf den Wafer mit hoher Geschwindigkeit aufschleudern
en apply the resist evenly by spinning the wafer at high speed
Dostopnost