Iskani niz je bil najden v IZTOČNICAH:
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step- und-Repeat-Verfahren belichten
en expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion
Align-Repeat-Belichtungsanlage
Information technology and data processing
da
udstyr til positionering med gentagelse
el
εξοπλισμός επαναληπτικής ευθυγράμμισης
en
align repeat equipment
es
equipo de alineación por repetición
fr
photorépéteur d'alignement
it
apparecchiatura di ripetizione di allineamento
nl
repeteerapparatuur voor uitrichten
pt
equipamento de alinhamento de repetição
Belichtung kleinerer Felder im Step- und-Repeat Verfahren
en step-repeat exposure of smaller fields
Belichtungsanlage mit Step und Repeat Einrichtung
en step and repeat exposure system
Belichtungsanlage mit Step- und-Repeat-Einrichtung
en step and-repeat exposure system, step-and-repeat exposure system
Bilder im Step und-Repeat-Verfahren auf Wafer übertragen
en step images on wafers
das kleine Bildfeld im Step- und Repeat-Verfahren auf den Wafer übertragen
en step the small image field over the wafer