tehnika čistih prostorov, postopki, metode in naprave za doseganje ekstremno nizkih koncentracij prahu ali bakterij v delovnih prostorih. V medicini se uporablja v operacijskih dvoranah, v biologiji pa za bakteriološke in genetske raziskave. Bakterije v zraku uničujejo z obsevanjem z ultravijolično svetlobo. V tehniki je pomembna npr. pri izdelavi integriranih vezij iz polprevodnikov, pri graditvi satelitov in natančnih optičnih naprav. Zelo majhno število prašnih delcev v zraku je osnovni pogoj za izdelovanje zmogljivejših integriranih vezij. Prašni delec je veliko večji od posameznega tranzistroja na vezju; če se med fotolitografskim postopkom usede na površino integriranega vezja, prekrije precejšen del njegove površine in onemogoči njegovo izdelavo oz. ga uniči. Zrak čistijo s posebej gostimi filtri. Dostop v t. i. čisto sobo je dovoljen le po poprejšnjem odsesavanju prahu s telesa in le v posebni obleki s pokrivalom. V čisti sobi je pogosto nadtlak. Zrak izpihuje skozi reže v zgradbi in preprečuje vdor okoliškega prahu v notranjost. Med čisto sobo in zunanjostjo je več vrat, ki se povsem hermetično zaprejo. Vrata se ne odpirajo sočasno.

Sorodna gesla: polprevodniki


Vir: Veliki splošni leksikon - DZS d.d.

Komentiraj slovarski sestavek