kémijsko naparévanje -ega -ega -a s postopek za naparevanje tankih plasti na substrat, pri katerem se ta izpostavi param spojine, ki na njegovi površini reagira ali pa se razkroji v želeni produkt, uporablja se v polvodniški tehniki krat. CVD
ANGLEŠKO: chemical vapor deposition
NEMŠKO: chemische Gasphaseabscheidung f
Dostopnost
Dostopnost