mónosilán -a m silicijev hidrid, SiH4, brezbarven, vnetljiv plin z neprijetnim vonjem, ki se uporablja za nanašanje plasti silicija, silicijevega dioksida ali silicijevega nitrida pri proizvodnji polvodnikov, fotonapetostnih členov
SINONIM: silán (2)
ANGLEŠKO: monosilane
NEMŠKO: Monosilan n