plázemsko jédkanje -ega -a s jedkanje, ki temelji na obstreljevanju tarče, npr. rezine za izdelavo tiskanega vezja, s plazmo v primerni plinski zmesi, ki daje z materialom, nanešenim na rezino, hlapne spojine, uporablja se za izdelavo tiskanih vezij, prikazovalnikov
ANGLEŠKO: plasma etching, reactive ion etching
NEMŠKO: Plasmaätzen n
Dostopnost
Dostopnost