Gasphasenabscheidung {f} [chem.] [techn.] - vapour deposition [Br.]; vapor deposition [Am.]
chemische Gasphasenabscheidung {f} - chemical vapour/vapor deposition [Br.] physikalische Dampfphasenabscheidung {f} [techn.] [phys.] - physical vapour/vapor deposition
Dostopnost
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